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雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高精確度,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
四探針電阻率測試儀
方塊電阻范圍:10-2~2×105Ω/□
2.電阻率范圍:10-3~2×106Ω-cm
3.測試電流范圍:0.1μA,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA
4.電流精度:±0.3%讀數(shù)
5.電阻精度:≤0.5%
6.顯示讀數(shù):液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率。
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